扫描电镜（SEM）技术解读（样品台和探测器）_仪器信息网社区

May 21, 2026

最常用的信号包括二次电子（SE）、背散射电子（BSE）、 X 射线、俄歇电子和光子。二次电子探测器： SE 成像是记录形貌信息的最佳选择。 SE 的能量较低（2 -50 eV），它们只从靠近样品表面的地方射出。

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